适用于：8英寸圆片
产能：25片/槽，可按客户产能需求设计
节奏：0～99min可调
装备骨架：SUS304外包3mmPP-W，外壳接纳入口2mm厚SUS304镜面板焊接
去胶洗濯槽：2mm厚SUS316L镜面板折弯焊接加电解抛光
QDR槽：德国入口10mmPP-N板热熔焊接而成
装备特点：
1、接纳台达触摸屏人机界面操作和三菱PLC控制
2、接纳耐侵蚀导线并通过耐侵蚀PE管；ぃ栏浪
3、装备底部装置3mm厚PP防漏托盘，有用避免装备漏液损害厂务地板
4、用户操作职员上料后，全历程自动化控制，镌汰人工干预，自动化水平高、运行本钱低、生产效率高、性能稳固、清静可靠
5、装备清静性能高：装备在防漏液、加热、泄电等方面都做了严酷的设计，确保人身和厂务清静
