asiagame

适用于：8~12英寸晶圆刻蚀 

装备特点：

1. 刻蚀性能优异
，与Single Wafer机台完全持平
，而能耗更低

2. 节能
，药水单耗低于Single Wafer

3. 结构简朴
，使用利便
，操作难度低于Single Wafer

4. 本钱低廉
，相同产能其价钱约为Single Wafer机台的1/5

5. 装备升级空间重大
，容易搭载更多的功效