asiagame

1、适用工艺：TOPCon

2、HF槽有用长度：4.6米

3、轨道数：12道182；10道210

4、额定带速：4.5~5.0m/min

5、装备产能：182:≥16000片/小时；210:≥12500片/小时

6、装备特点：

1）高带速精准带液刻蚀滚轮滚轮，有用阻止翻液及过刻；

2）细腻化智能化动力水膜控制，无极控速控流，细密控制水膜量；

3）多匀流+多流道准确流体流场设计，液面更稳固；

4）多区流体液面控制，准确控制刻蚀阶段液面高度；

5）超等风刀，高带速吹干效果稳固